一、選擇合適的樣品

　　在進(jìn)行掃描電鏡樣品測(cè)量之前，需要根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要選擇合適的樣品。優(yōu)秀的掃描電鏡樣品應(yīng)該具備以下特點(diǎn)：

　　1. 具有一定的導(dǎo)電性或者表面暴露，以利于樣品上披覆導(dǎo)電薄層;

　　2. 表面平整光滑，不得有凹陷、突起等影響樣品成像效果的缺陷;

　　3. 具有代表性，可以反映出需要觀測(cè)的物質(zhì)組成、結(jié)構(gòu)和形態(tài)。

　　二、樣品制備

　　樣品制備是進(jìn)行掃描電鏡樣品測(cè)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。以下是樣品制備的技巧和要點(diǎn)：

　　1. 樣品的尺寸要適中，通常在1-5毫米之間;

　　2. 樣品的表面需要進(jìn)行充分的清潔和披覆導(dǎo)電薄層;

　　3. 樣品應(yīng)該充分干燥以避免水分對(duì)成像效果的影響。

　　三、樣品測(cè)量

　　樣品測(cè)量是進(jìn)行掃描電鏡樣品測(cè)量的z后一步。以下是樣品測(cè)量的要點(diǎn)和注意事項(xiàng)：

　　1. 樣品的表面需要均勻的遍布電子束;

　　2. 測(cè)量時(shí)應(yīng)該選擇合適的放大倍率;

　　3. 要避免樣品燒傷等影響成像效果的情況;

　　4. 需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)臉悠窐?biāo)定和區(qū)域選擇。