樣品制備：首先，將樣品快速冷凍，一般采用液氮或其他冷凍設(shè)備瞬間冷卻至低溫狀態(tài)，以確保樣品結(jié)構(gòu)的瞬時(shí)固定。

　　冷凍斷裂(可選)：某些情況下，可能需要在冷凍條件下對樣品進(jìn)行斷裂，以便觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

　　升華去除水分：樣品隨后進(jìn)入冷凍制樣室，在高真空環(huán)境下進(jìn)行升華處理，即讓固態(tài)冰直接轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，去除樣品表面的冰層。

　　鍍膜處理：為了提高樣品的電子散射能力并在觀察過程中減少電子束造成的荷電效應(yīng)，通常會(huì)對冷凍樣品進(jìn)行鍍膜，如噴金或噴碳。

　　低溫傳輸與觀察：最終，通過冷凍傳輸系統(tǒng)將樣品保持在低溫狀態(tài)下轉(zhuǎn)移到掃描電鏡樣品室內(nèi)的冷臺(tái)上(溫度可維持在-140℃至更低)，在這樣的低溫環(huán)境中進(jìn)行觀察和成像。